10.5162/SENSOREN2019/P1.15
R. Moos
M. Schubert
C. Reichl
J. Kita
C. Münch
P1.15 Mittels aerosolbasierter Kaltabscheidung bei Raumtemperatur hergestellte schichtförmige NTC-Thermistorbauelemente
AMA Service GmbH, Von-Münchhausen-Str. 49, 31515 Wunstorf
2019
Aerosol Deposition Method (ADM)
NTC Thermistor
Temperatursensor
Dickschicht
AMA Assocation for Sensors and Measurement, Sophie-Charlotten-Str. 15, 14059 Berlin
Informationstechnische Gesellschaft im VDE (ITG), Frankfurt
VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA), Düsseldorf
deu
ConferencePaper
978-3-9819376-0-2
4 Pages
886 KB
application/pdf
In der vorliegenden Arbeit konnte gezeigt werden, dass eine aerosolbasierte Kaltabscheidung eines produktionsnahen NTCR-Keramikpulvers zu mechanisch stabilen Schichten möglich ist. Die Schichten zeichnen sich durch eine dichte nanokristalline Schichtstruktur und eine sehr gute Substratanbindung aus. Im ersten Versuchsteil konnte sowohl auf Edelstahl- als auch auf Al2O3-Substraten ein linearer Zusammenhang zwischen der erzielten Schichtdicke der aerosolkaltabgeschiedenen NTCR-Schicht und der Anzahl an Überfahrtsschleifen nachgewiesen werden. Basierend auf diesen Erkenntnissen wurden im zweiten Versuchsteil chipbasierte NTCR-Bauteile der Baugröße 1206 mit 10 und 20 Überfahrtsschleifen hergestellt. Die aerosolbasierte Kaltabscheidung des produktionsnahen Keramikpulvers erfolgte hierzu auf ein mit Sollbruchkanten und siebgedruckten Au-Interdigitalelektrodenstrukturen versehenes Al2O3-Substrat. Die Bauteile zeigen reproduzierbar die typische Charakteristik von konventionell gesinterten NTCR-Volumenkeramiken. Auch konnte der Nachweis erbracht werden, dass durch die Variation der Anzahl an Überfahrtsschleifen die Schichtdicke der aerosolkaltabgeschiedenen NTCR-Schicht und damit deren elektrische Widerstand gezielt eingestellt werden kann. Die charakteristische B-Konstante ändert sich dabei nicht.